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长三角集成电路设计与制造协同创新中心MEMS建模及制造工艺培训成功举办
发表时间:2015-05-19 阅读次数:608次

 

 

 

      2015年5月12日,由长三角集成电路设计与制造协同创新中心,上海微技术工业研究院,Coventor公司和复旦大学联合主办的“MEMS建模及制造工艺培训”在复旦大学邯郸校区逸夫科技楼成功举办。

 

      来自高校、研究所、MEMS设计公司、晶圆代工厂、半导体设备厂商以及其他从事MEMS及相关技术研究的技术人员和项目管理人员等超过100名学员报名参加了此次培训。

 

      MEMS技术是以硅材料为介质,建立在微米/纳米技术上的前沿技术。其设计除了需要考虑电信号特性外,机械特性的影响将直接决定产品的性能。因此,MEMS对工艺控制有着极高的要求。如何在MEMS设计阶段充分利用建模仿真手段,充分验证设计的合理性和工艺的可实现性,提高器件性能并将可能出现的问题在流片之前解决,成为了每个MEMS设计人员关心的话题。同时,在产品工艺开发时,又有哪些方法可以帮助设计人员更好的完成从设计到量产的工作步骤,也是值得探讨的话题。

 

      本次培训中,由知名MEMS设计软件公司——Coventor公司MEMS技术总监颜军博士,为学员们培训了“微机电系统自动化设计和工艺模拟”相关内容。

 

 

      由上海微技术工研院工程信息总监张文燕,为学员们进行了“MEMS检测分析与测试”相关培训。

 

      由上海矽睿科技有限公司技术研发部高级总监王宇翔,为学员们进行了题为“陀螺仪的工艺发现之旅”的精彩培训。

 

      本次培训请到多位业内资深专家,从MEMS建模, MEMS功能检测和测试以及工艺制造实例分享,多方位介绍MEMS设计方法,探讨当前各种MEMS器件主流技术的实现方式及性能。培训内容充实全面,不仅开拓了学员们的视野,并通过案例分享、师生互动、学员探讨等方式加深了学员对核心问题的把握,提高了培训的效果。

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